愛媛大学工学部附属
教育・研究共同利用施設
【ご注意】
 装置ごとに試料の大きさ、形状(粉体・バルク)、性状(固体・液体、磁性など)に制限があります。利用前に必ずご確認ください。

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日立ハイテク S-5500

FE-SEM

 分解能が0.4nm (30kV)であり、高倍率での観察ができます。 2次電子像、反射電子像共に観察可能です。明視野STEM像と暗視野STEM像の同時観察が可能です。

走査電子顕微鏡(SEM-EDS)

日本電子(JEOL) JSM-6510LV

JEOL SEM-EDS

 組成分析(EDS)も出来る走査型電子顕微鏡です。二次電子像、反射電子像共に観察可能です。Cより重元素の組成分析ができます。また、低真空での観察も可能です(低真空の場合は反射電子のみ)

X線回折装置(XRD)

PANalytical X'pert Pro MPD

XRD

 試料にX線を照射し回折パターンを得ることができます。データベースとの照合により結晶構造が同定できます。 粉末試料を基本としてバルクや薄膜も測れます。ヒーターを取り付けると高温測定ができます。

波長分散型蛍光X線分析装置(XRF)

Rigaku RIX2100

XRF

 波長分散型の元素分析に特化した装置で、走査型ではありません。Cより重元素の分析ができます。 微小粉末から、5cm角程度の大きなものまで分析できます。

分光光度計

日立ハイテク U-4100

分光光度計

 試料(主に固体)に紫外・可視領域の波長の光を当て、その光の透過率(吸光度)などから試料の定性や定量が可能です。 拡散反射、正反射、透過の測定ができます。標準積分球の他に低ノイズ測定が可能な高感度積分球や微小サンプルの測定が可能な付属品もあります。

分光蛍光光度計

日立ハイテク F-7000

分光蛍光光度計

 試料(固体・液体)に光を当てることによってエネルギーを吸収させ、試料の蛍光・りん光を調べることによって、蛍光物質の有無だけでなく、 試料の性質や濃度(検量線が必要)を調べることができます。縦軸を励起波長、横軸を蛍光波長として強度を等高線表示させた三次元測定も可能です。

原子間力顕微鏡(AFM)(休止中)

日本ビーコ VS-HT905SPM

分光蛍光光度計

 原子間力顕微鏡は探針と試料に作用する原子間力を検出するタイプの顕微鏡です。 針と試料表面を微小な力で接触させ、表面形状を画像化します。試料の凹凸は、500nm以下で使用できます。分解能は1nmです。

フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)

島津製作所 IRPrestige-21

FT-IR

 主に固体試料に赤外線を照射し、その透過率や反射率、吸収率を測定することで、官能基など部分的な構造に関する情報が得られ、文献データとの比較により化学組成の同定が可能です。KBr錠剤法だけでなく、拡散反射法も可能です。

走査電子顕微鏡(SEM-EDS)

日立ハイテク TM4000 PlusII

日立SEM-EDS

 卓上型のSEM-EDSです。低真空なので帯電しやすい試料でも金属コーティングなしで観察できます。また、EDSによる元素分析も可能です。加速電圧は5-20kV、観察倍率は画像観察のみの場合は3万倍程度、元素分析時は1万倍程度、反射電子、二次電子、合成(反射電子+二次電子)の3種類の画像信号で観察可能です。

フラットミリング装置

日立ハイテク IM-3000

ミリング装置

 Ar+イオンビームで表面をミリングする装置です。主に鏡面研磨後の仕上げに使用します。EBSD測定の前処理などに適しています。 なお、断面出しの機能はありません

デジタルマイクロスコープ

Leica Microsystems DVM6 S

デジタルマイクロスコープ

 デジタルカメラがついた光学顕微鏡です。約 600 倍までの観察が素早くでき、数 μm 程度の解像度があります。 落射照明光学系が採用されており、幅広い試料の観察が可能です。焦点合成機能により3次元データを得ることもできます。

NOx

HORIBA PG-340

NOx計

 比較的簡単な操作で燃焼排ガス中のNOx、CO、CO2、O2の成分を同時に測定することが可能です。またコンパクトで15kgと軽量であるため、簡単に持ち運びを行うことができます。

その他

 

 SEM観察のためのスパッタ装置として、日本電子 JFC-1200、JFC-1600があります。